二手 LAM RESEARCH 590 #9160079 待售

LAM RESEARCH 590是一种蚀刻/灰化设备，主要用于大容量半导体生产中的蚀刻和灰化工艺。该系统由等离子体源、控制面板和腔室组成。10-kW供电的微波等离子体源允许对厚度不超过25 µm的材料进行精确和一致的蚀刻或灰化,并具有一系列可选择的操作压力和工艺。该装置设计独特，具有低温、涡轮分子泵送的大气层能力，以及8轨晶片处理机。8轨晶片处理程序可处理直径不超过8英寸的200个晶片和直径不超过200毫米的15个晶片,从而能够高效、经济高效地装载和卸载基板。控制面板使用数字质量流控制器（MFC）对蚀刻深度和灰度深度进行精确、可重复的控制。该控制器设计用于保持稳定的压力、温度和流速,以便进行蚀刻和灰化。该室采用先进的屏蔽机，减少晶片对等离子体的干扰，优化蚀刻/灰分均匀性。腔室在蚀刻或灰化过程中还提供惰性气氛，通过有效控制环境来保持基材的完整性。590 蚀刻器/asher工具是一种先进的半导体加工工具，能够一次精确蚀刻、灰分和清洁多层，从而实现更快、更具成本效益的生产。该资产设计用于在恶劣条件下的高效使用,具有六个可调压力和温度设置,以实现最佳工艺控制。该模型还针对晶片加载和卸载进行了优化,采用8轨晶片处理程序,可处理200个晶片,最大重量为15英寸,直径为8英寸。LAM RESEARCH 590 蚀刻/asher设备是一种高效且经济实惠的半导体生产工具。