二手 LAM RESEARCH 590 #9226108 待售

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher是一种多用途的沉积工具，用于表面涂层和改性的蚀刻和沉积材料。它使用获得专利的等离子体产生"金刚石窗"技术来制作精确的蚀刻，允许用户设计和塑造精确规格的金属表面。它旨在为处理复杂的曲面修改任务提供经济高效的解决方桉,同时保持高吞吐量和精确的精度。590具有紧凑的尺寸,可适合实验室和制造环境。它提供精确和可重复的沉积过程，促进高精度的表面修改和地形调整。其主要特点包括压力和温度控制，易于调整蚀刻速率和层厚，喷嘴尺寸可快速变化以及各种兼容的工艺气体。LAM RESEARCH 590配备了高性能气体系统，专为高性能处理而优化，能够支持多种气源和输送系统。该蚀刻器能够蚀刻高纯度材料，以及具有不同溷合轮廓的金属，如不锈钢和铝。590还具有高分辨率多视图光学系统,可以快速、准确地检测沉积进展,从而无需进行样品评估。LAM RESEARCH 590旨在通过使用集成的诊断和控制系统提供方便的维护和灵活性。该系统配备了带数字加热器的多区晶片卡盘、高速炉和可编程的过程和元件控制数字逻辑。此外，其先进的软件体系结构允许过程控制和优化，以确保可重复和可靠的性能。590的一个独特特点是它能够在进行蚀刻和沉积过程时移动基板表。这使用户能够准确评估流程的结果，并根据需要实时调整参数。此外,它还提供了较低的拥有成本,使用户能够通过减少资本投资、运营成本和维护实现成本节约。