二手 LAM RESEARCH 590 #9226290 待售

LAM RESEARCH 590是一款用于半导体加工的最先进的蚀刻器/asher。它是一种全自动设备,提供高度的过程控制动态、高吞吐量和卓越的结果可重复性。该系统围绕模块化平台设计,提供灵活的配置可能性。此集成平台提供了业界标准的处理能力,可扩展到更高的级别。590具有高速、高密度的等离子体源模块（PSM）,它提供对等离子体蚀刻速率和利用率的精确控制,以优化集成电路（ICs）和其他设备的处理。PSM为电感耦合和射频等离子体源提供了三个独立通道的选择。该单元还包括热隔离基板支撑、高密度基板热交换器、多头电压源以及所有操作的先进实时软件控制。LAM RESEARCH 590还具有先进的计算机处理器和软件功能,包括过程监控。本机设计为提供均匀、可重复的效果和优异的长期稳定性。为确保优异的效果,该工具采用了自动焦点控制（AFC）和自动焦点共振镜（AFM）。AFC资产控制光束位置，而AFM调整蚀刻速率以确保最佳的均匀性和可重复性。590还配备了先进的工艺基板控制和监控（PSCM）模型,可对所有加工参数进行集成的实时控制。该设备允许对过程参数进行综合管理、监控和控制，包括压力、温度、射频功率和气体利用率。该系统还与行业-标准模式定义、彷真、优化工具完全兼容。LAM RESEARCH 590还支持存储在设备硬盘上的高精度工艺配方,以便快速检索和轻松设置。该机得到了LAM RESEARCH先进技术支持,可快速有效地解决问题。此高级支持网络可确保客户充分利用其蚀刻器/asher,并确保持续的过程优化。