二手 LAM RESEARCH 590 #9226292 待售

LAM RESEARCH 590是一种蚀刻器/asher设备,专为硅片图样设计和需要Etch和Ashing功能的特定应用而设计。这种蚀刻和灰分系统具有单一晶片处理的灵活性，提供了批量处理的准确性和可重复性。它具有气流均匀、腔室体积小、整个腔室温度低的特点，提高了沉积精度，提高了产率。该装置还提供一种先进的气体输送机器，允许每个过程的气体消耗最小。该工具还提供了一个高性能的射频发生器，它具有完全的可编程性，可用于快速和可靠的过程。其增强型源/排水硬掩码蚀刻室针对单晶片蚀刻进行了优化，提供了超高速率的蚀刻以及较低的ICP压力。利用排放蚀刻室的源，该资产提供了广泛的工艺温度和功率水平，以满足各种要求。而且，590可以配置额外的腔室和不同的蚀刻工艺能力，如溅射清洗、等离子体蚀刻和地下蚀刻。此模型可让您灵活地根据需要自定义流程。此外,LAM RESEARCH 590可帮助您降低拥有成本,并以更低的运营成本使流程更加顺畅。它的高级控制选项和直观的GUI界面为用户提供了满足其阵列和蚀刻需求的完整解决方桉。总而言之,590是业界领先的蚀刻和灰分设备,可提供极致的精度和过程控制。