二手 LAM RESEARCH 590 #9226293 待售

LAM RESEARCH 590是当今市场上最先进的蚀刻器和分类器之一。此设备旨在以最精确的方式有效蚀刻和/或粉刷小零件,使制造商能够更及时地生产复杂和准确的零件。系统的功能是使用Cl2或O2等离子体源,这些源产生所需的蚀刻或灰化结果,对零件的损坏最小。与传统的蚀刻和灰化方法相比,该单元具有几个优点。它可以在同一运行中蚀刻和粉刷,从而大大减少停机时间。机器还能够进行图样蚀刻和灰化,在此过程中,可以在特定配置中对零件进行蚀刻和/或灰化。这就创造了具有复杂和精确模式的零件，使它们非常适合微电子设备等高级应用。该工具还包括一个闭环控制资产，通过监测和控制时间、压力、流量、温度和其他过程变量，允许最佳工艺性能和可重复性。该型号配备了直观的软件设备，使操作员能够快速、轻松地定制流程，并根据用户的要求产生结果。该系统还提供了非凡的灵活性,允许用户从几个创造就业机会的选项中进行选择,这意味着零件可以使用或不使用光刻胶进行蚀刻或粉刷,也可以使用或不使用图样。590设计易于使用和维护,包括易于清洁的蚀刻和装载室,以及加压冷冻槽,以保护设备免受污染物污染。该机还可以用多达30种不同的腔室配方进行编程，使其适合生产种类繁多的零件。总体而言,LAM RESEARCH 590是一款卓越的蚀刻器和Asher,具有先进的特性和功能,非常适合现代制造工艺。它能够产生复杂、准确的形状和模式，并为用户提供各种创造就业和定制的选择。