二手 LAM RESEARCH 590 #9232890 待售

LAM RESEARCH 590是一款高性能的蚀刻器/asher，设计用于对包括晶圆、基材、多氯联苯、金属和塑料在内的多种材料进行精密蚀刻和灰化。590是一种全自动设备，具有高分辨率单色仪和先进的过程控制系统。LAM RESEARCH 590专为最大吞吐量而设计,具有易于使用的多层预编程设置。590利用小占地面积集成子系统和简化的用户界面进行生产,操作员干预最少,结果可靠。LAM RESEARCH 590是一个单晶片处理平台，能够容纳广泛的基材尺寸。它配备了两个等离子体源，两个真空级，以及一个内置温度仪表的多点传感器和样板。此外，590还配备了辅助气体输送装置，并提供了工艺气体的选择。LAM LAM RESEARCH 590先进的工艺控制机可确保目标表面的高精度蚀刻和灰化。利用其内置的PID调整,对590进行了优化,以保持对蚀刻和灰烬参数的严格控制,包括设置公差为+/-0.001 mm的层厚度的能力。此外,LAM RESEARCH 590能够运行低周期时间（最多15000晶圆/小时）和高均匀性批处理过程。LAM 590旨在提高可靠性和效率。它采用全天候维护计划,能够快速检测故障并提供诊断,以便于故障排除。此外,LAM RESEARCH 590还提供长期数据归档功能,允许用户随时间推移检查其流程的状态。590旨在提供最大的生产率、准确性和运营效率。它具有先进的工艺控制和自动化工具,非常适合要求精密蚀刻和灰化的生产要求。LAM RESEARCH 590是定制项目和大规模批量生产微电子、光电、数据存储和半导体器件的可靠解决方桉。