二手 LAM RESEARCH 590 #9275402 待售

LAM RESEARCH 590是先进的蚀刻设备，非常适合介电、金属和氧化物的应用。该系统旨在为用户提供可靠、高效的蚀刻工艺，适合批量和串联生产。具有优异的工艺性能，590可用于蚀刻包括玻璃、硅和金属在内的多种材料。LAM RESEARCH 590有一个坚固的工艺室，设计用于处理各种工艺压力和温度。该单元具有大型集成源板配置，是精密控制蚀刻速率的理想选择。内置的流程算法和流程优化功能使用户能够实时调整流程参数。该计算机包括一个高级用户界面，可用于配置配方、输入工艺参数和监视蚀刻进度。590装有高功率HF射频发电机,能够提供高达350W的功率来蚀刻目标材料。一种独特的双视图光学工具用于监测目标材料界面的蚀刻速率，而气流资产则提供对气体输送和过程流动的精确控制。该模型旨在提供最高级别的工艺可重复性，并对蚀刻率和沉积率进行综合精确控制。LAM RESEARCH 590增强了介电和金属沉积的均匀性，有助于提供无缺陷装置。该设备具有低温负载锁定功能，可最大限度地减少颗粒生成，并充分利用工艺吞吐量。590具有先进的工艺控制和工艺优化特点，是电介质、金属和氧化物材料蚀刻沉积的理想系统。