二手 LAM RESEARCH 594 #9308907 待售

LAM RESEARCH 594 蚀刻器/asher是一种大型生产设备，用于半导体加工，用于蚀刻浅沟、接触坑或通风孔。该系统具有坚固的开放式框架设计,可减少维护频率,延长运行寿命。该工具由两个模块组成,一个是仅批量蚀刻室,另一个是ashing模块。它还具有可定制的硬件和软件体系结构。蚀刻模块中的仅体积离子源提供高能、单特异性的离子束，脉冲重复率高达40 kHz，最小占空比为10%。使用此单元,用户可以通过标准层和高级掩蔽层蚀刻浅沟槽、触点和通信层,一直到20 nm以下的分辨率。蚀刻模块的手动等离子体工艺带有智能离子源控制（SmartISC）技术，该技术允许用户根据蚀刻轮廓调整离子束特性。594的灰化模块在硅和光致抗蚀剂之间提供高达20：1的选择性。它采用低压等离子体的低功率垂直线性感应射频源，快速清洁纵横比紧密的深沟和沟底。垂直源还可确保接触坑和沟槽中蚀刻图样的侧壁钝化。此外,LAM RESEARCH 594凭借其先进的自动化功能提供了出色的过程重复性。具有可变入射角的自动热辅助淋浴头旨在确保批次之间的过程重复性，也可用于接触坑的蚀刻剖面。因此，594是深层基板和高长宽比蚀刻的突出工具，成为芯片设计者和半导体制造者的热门选择。凭借其创新的机器，LAM RESEARCH 594能够提供高性能、经济高效的蚀刻操作。