二手 LAM RESEARCH 690 #9151419 待售

LAM RESEARCH 690是一个定制的多室系统,具有多种配置选项,可提供高级功能来满足蚀刻和灰化需求。它设计用于在多站过程中精确、干净地蚀刻/灰分基板。690由载荷锁室、主蚀刻室和可调节高度的产品室组成。LAM RESEARCH 690的载重锁室由两门配置和两个独立的腔室组成，为装卸精致基板提供了灵活性。载荷锁室是按照严格的规格建造的，以最大程度地减少过量并提高整个系统过程的准确性。690的主蚀刻室设计有压力、温度、气体输送等可调参数。该腔室为晶体管蚀刻和先进材料沉积工艺提供了最佳环境。LAM RESEARCH 690具有双气体输送源，可同时提供对两种气体的精确控制，有助于确保跨多种基板的均匀过程。此外，690家公司拥有一个获得专利的晶圆锥度控制系统，能够在工艺变化时精确、平稳地调整蚀刻参数。LAM RESEARCH 690的可调高产品室可确保各种基材的蚀刻后/灰烬操作能够根据需要上下移动。该腔室还包含一个自动热级板，这意味着目标基板保持在腔室内部与从主蚀刻腔室转移的位置相同。该自动板还包括真空选项，提供了一个有效的，密封的基板。总体而言,690是一款功能强大的蚀刻器/asher,具有精确的规格和可调节的参数。其载荷锁室、主蚀刻室、可调节高度的产品室为多种基材提供了终极平台，提供了一致、准时的高品质效果。一个理想的工具，为那些寻求先进的控制和灵活性，他们的蚀刻和灰烬的需求。