二手 LAM RESEARCH 690 #9238723 待售

LAM RESEARCH 690是一款蚀刻器/asher，专为透晶片等离子体蚀刻而设计。它常用于半导体製造过程中，因其能够在先进的製程步骤中达到优异的精度和吞吐量而备受追捧。690具有装有蚀刻头的多轴机械臂，具有完全可编程的高度和倾斜运动。这允许头部通过一组复杂的坐标移动，从而提高了蚀刻的精度和均匀性。头部具有宽视角，从0-90度，为平面和倾斜薄膜而设计。蚀刻室设计为提供最佳的等离子体密度。它包括几个特点，如内部聚焦的淋浴头，负责创建一个高密度的等离子体流，以及一个电子调节气体喷射系统，允许精确控制蚀刻过程。LAM RESEARCH 690还具有先进的工艺控制软件，可以对蚀刻工艺进行精确的控制。这包括工艺参数优化、气体供应的自动测试、蚀刻层的实时监控以及对任何工艺异常的自动警报等功能。这样可以确保流程平稳高效地运行。此外，690还提供了广泛的附件和功能，如接口板、控制器和探头。这允许为特定应用程序自定义系统。该系统也非常节能，总拥有成本低。总体而言,LAM RESEARCH 690凭借其多种特性、高精度、低拥有成本和出色的蚀刻能力,已成为业界领先的产品。它是半导体行业先进工艺步骤的理想选择。