二手 LAM RESEARCH 715-440264-001 #293661552 待售

ID: 293661552
晶圆大小: 8"
Lower chamber assembly, 8".
LAM RESEARCH 715-440264-001是一种蚀刻器和灰化器,特别是一种先进的多化学气相沉积(MCVD)设备。MCVD系统设计用于产品显示器、电子元件和其他产品生产中各种材料的精密沉积。715-440264-001是一个小巧,易于使用的单元,具有高速,低温,冷墙设计。该单元设有四个腔室,提供多达九个单独的操作区域,包括蒸汽输送、基板管理、预处理、蚀刻和灰化。LAM RESEARCH 715-440264-001利用最先进的电子控制机来确保精确的沉积结果,包括对温度、压力、氧气浓度、掺杂比和增长率等过程条件的精确控制。该工具还提供了一个用户友好的软件界面,以便对整个过程进行简单的编程和控制。715-440264-001可用于任何流行的高精度溷合化学沉积系统。LAM RESEARCH 715-440264-001具有可编程的基板路径资产,可以创建精确的涂层模式。该模型允许湿法和干法沉积工艺,使用户能够根据自己的需要选择最佳工艺。此外,715-440264-001还提供最新的安全和环境保护功能,包括车载气体清除设备和自动泄漏控制,以防止部件意外暴露和过程控制故障。该系统包括一个自动化原料装载单元,便于组件装载、卸载和移动。LAM RESEARCH 715-440264-001还包括集成的流程监控和数据记录,使用户能够跟踪流程信息以确保质量。最后,该单元设计为易于维护,具有易于访问的面板,便于维护和维护。凭借其先进的技术和功能,715-440264-001是任何蚀刻/灰化应用程序的绝佳工具。
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