二手 LAM RESEARCH 790 #9088929 待售

LAM RESEARCH 790是一种蚀刻/asher设备，旨在容纳各种类型的晶圆处理。适用于在所有类型的半导体晶片和介电膜上产生高质量、精确和可重复的结果。790配备了最先进的技术，包括用于精确蚀刻的多射频（RF）电源，以及多个真空室，使得每个晶片在高吞吐量下都能以一致的精度进行处理。该系统由一个装有加工室、真空和装卸站的环境室组成。它还配备了多种可选工具和集成控制器，以根据特定应用量身定制设备，包括低k介电加工、氮化、化学/机械平面化、氧化物剥离和选择性蚀刻。射频电源为广泛的应用提供了必要的蚀刻性能，如氧化物和多晶硅蚀刻、氮化、去除光致抗蚀剂和其他污染物以及扩散区域的损坏退火。该电源的设计可提供高精度和稳定性,从而能够精确控制工艺的蚀刻深度和蚀刻速率。这进一步得益于机器在加工过程中通过旋转来定向晶片的能力。真空工具采用先进技术提供高流量、低压气体达到深真空。这确保了低成本、均匀的等离子体蚀刻和可重复的工艺结果。负载锁定门户和装载机/卸载机模块提供高速的晶圆传输,同时保持清洁的环境并实现最佳的生产效率。LAM RESEARCH 790资产超高效,具有双总线架构,并具有高功率线性电源,可实现最大输出。它还带有直观的用户界面,符合行业标准,易于操作和维护。790 蚀刻器/asher是一种可靠且经济高效的解决方桉,可用于在所有类型的半导体晶片和介电膜上进行精确且可重复的蚀刻和灰化。其先进的射频电源和高流率真空模型可提供可靠的、可重复的过程结果，且操作人员干预最少，确保了过程的完整性和最佳的吞吐量。