二手 LAM RESEARCH 832-038915-101 #9363371 待售

LAM RESEARCH 832-038915-101是一种用于大型晶圆制造工艺的湿式板凳蚀刻器/asher设备。它能够蚀刻/ashing晶片制成的基材材料，如硅，氮化铵，钼等。该系统可以在整个晶片表面上蚀刻/灰分均匀的图样，对于25 um或更大的图样间距达到0.6 um或更高的转弯精度。该机组由几个关键部件组成，包括一台RF发电机、RF功率调节组件、一个高速RF溅射室、多个流体端口和一台高分辨率精密气体分发器。射频发电机用于为溅射过程提供电力，可以在高达4 kV的电压和高达1 MHz的频率下运行。射频调节组件确保在整个蚀刻/灰化过程中传递到腔室的功率稳定。射频溅射室可实现高速蚀刻/灰化,并且能够处理直径不超过12英寸的晶片。在腔室内部，高分辨率气体分布器可确保蚀刻/灰分气体在整个蚀刻/灰分过程中均匀流动。此外，气体分销商增加了机器的灵活性，允许用户根据需要调整蚀刻/灰分气体的流量和组成。流体端口使蚀刻器/灰烬工具与任何外部控制的液体或干蚀刻/灰烬系统之间能够通信。这些端口还允许引入反应性气体，如O2、NH3或Cl2，并使蚀刻/灰分化学品得以再利用。最后,832-038915-101采用了特殊的材料,以提供卓越的蚀刻/灰分质量,并采用低维护设计和最小的停机时间。此外,该资产还支持在集中平台上进行流程监控,从而简化流程控制并提高吞吐量。