二手 LAM RESEARCH 839-019080-611/A #293658874 待售

LAM RESEARCH 839-019080-611/A是一种先进的蚀刻器/asher,它能够精确、一致地从表面去除蚀刻剂和其他材料,从而满足半导体封装和高密度互连行业的超精度图样设计需求。这种高度先进的蚀刻器/Asher具有最先进的双堆叠蚀刻和Asher冷却设备,可确保均匀的加工温度,从而产生高度均匀的断裂模式、优越的产量、高长宽比和改进的均匀性。双堆栈冷却系统采用逆流设计，以确保最佳性能和可重复结果。该单元还包括一个先进的德加和蚀刻技术，以简化灰化材料的过程，同时保持一个低粒子计数。LAM RESEARCH 839-019080-611/A具有高速、自适应的精密蚀刻和灰分处理功能,集成了气体分配和排气机,可提供快速的工艺周期时间、最小的蚀刻底切和均匀的蚀刻/灰分速率。它支持多种蚀刻化学方法,为较小的特征和高宽高比特征提供了卓越的工艺,这需要在5纳米特征边缘内运行的工艺。LAM RESEARCH 839-019080-611/A还包括在蚀刻过程中增强特征的退火循环,以减少特征的排汗和削弱。先进的网络控制器允许对蚀刻过程进行动态控制,以便对运行计数、蚀刻速率、灰分速率、温度和分析技术进行严格控制,以实时监控状况。839系列还包括动态安全协议，以确保持续安全运行。它采用先进的无功离子蚀刻（RIE）工具，对等离子体密度、功率和基板温度进行严格控制，以便对工程材料进行精确蚀刻。它还有一个自动压力-真空循环，使反应室保持"作为新的"清洁水平。开放式体系结构允许轻松集成到现有的制造生产线中,并且该资产易于升级以用于将来的扩展和集成。用户界面提供简单的导航和对蚀刻和灰处理的完全控制。LAM RESEARCH 839-019080-611/A在要求最苛刻的过程中提供蚀刻/灰分要求所需的速度和精度。