二手 LAM RESEARCH 839-019090-577 #293670008 待售

LAM RESEARCH 839-019090-577是一种化学辅助反应性离子蚀刻器，设计用于蚀刻先进材料，以增强设备生产。它采用层压石英设备壁,具有高效的超低功耗操作功能,能够以其他蚀刻解决方桉的一小部分成本实现优异的性能。它设计用于在广泛的工艺参数范围内执行蚀刻操作，范围从低压（从1.5-2.5 Torr）到高压（最大30 Torr）。839-019090-577还配备了多区化学输送系统，可提供精确的材料沉积，同时仍保持即时适应不同工艺条件的能力。蚀刻器还具有等离子体推进单元，允许快速蚀刻吞吐量和超高等离子体密度。这加上高压操作，允许对蚀刻过程进行高度精确的控制，降低了改变等离子体和化学参数的复杂性。此外，LAM RESEARCH 839-019090-577还提供各种配件，如不同尺寸的石英片、隔热板和晶圆载体。接触蚀刻时间、蚀刻压力、等离子体反应物流速和成分等工艺参数可以很容易地进行调整，允许广泛的基材被蚀刻，具有极好的均匀性和可重复性。即使经过较长的处理时间,蚀刻性能也能达到最大程度的蚀刻均匀性和可重复性。839-019090-577是高级材料蚀刻应用的理想选择，如高长宽比接触孔、通过孔的装置和沟槽蚀刻。自动化的设置过程确保了蚀刻器的快速和方便的设置,而不会对精巧的石英系统造成任何损坏。LAM RESEARCH 839-019090-577是各种高级蚀刻应用的理想选择,其性能仅为市场上其他蚀刻解决方桉的一小部分。它的高压操作，加上其多区化学输送机的精确度，使得它成为需要快速周转、均匀性、精确度的蚀刻工艺的可靠选择。