二手 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293664890 待售

ID: 293664890
Electrostatic Chucks (ESC).
LAM RESEARCH 839-101612-883 蚀刻器/asher是为电子设备制造而设计的高级加工工具。它非常可靠,能够在单个腔室中执行各种蚀刻和灰化过程。该机也适用于介电、SOG或聚酰亚胺蚀刻和灰化工艺。由于其高效的设计,839-101612-883能够在单个处理室内执行扁平晶片和激活晶片工艺。设备配备了多个电源,具有灵活性和稳定性,可在最短的停机时间内精确快速地优化过程。LAM RESEARCH 839-101612-883凭借其精确的压力和温度控制,能够以安全可靠的方式进行蚀刻和灰化过程。该系统还能够使用CCD摄像机将等离子体集中到狭窄的区域,从而使每个过程的总体效果更好。该单元还配备了自动化装卸机,方便频繁交换基材。在维护方面,839-101612-883需要最小的努力。该工具具有一个自我诊断资产,用于监视任何问题,并在出现任何问题时显示错误消息。机器还有一个自我维护设计,由自我清洁过程组成,以提高寿命和性能。总体而言,LAM RESEARCH 839-101612-883是一款高级蚀刻器/asher,提供卓越的性能和正常运行时间可靠性。适用于介电、SOG、聚酰亚胺等各种蚀刻和灰化工艺。它还具有温度和压力的精确控制以及自动装卸模型,以方便频繁交换基板。最后,该设备还提供自我诊断和自我维护设计,以实现最大的可靠性。
还没有评论