二手 LAM RESEARCH 839-102001-069 #293646530 待售

LAM RESEARCH 839-102001-069是一个先进的等离子体蚀刻器/asher开发完整的晶圆级制造。839模型是一种专门设计用于精确蚀刻和粉刷半导体晶圆部分的自动化工具。系统高级控制系统由许多监视器和用户定义的控件组成，以便于操作和精确的参数设置。839型号由一个机柜内的两个处理单元组成。主单元由300 mm电容耦合等离子体反应器组成，该等离子体反应器包含匹配的网络和线圈负载、扫描静电卡盘以及用于晶圆级蚀刻的平面射频发生器。第二单元装有载荷锁和载荷/卸载臂系统，以增加产品的方便和精确处理。839型利用由1.7kW 13.56MHz射频发电机驱动的平面天线以精确的能量和密度传输离子。该装置还有一个计算机控制的多区气体注入系统，可监测流量和温度，提供对蚀刻剖面的精确控制，并提高可重复性。蚀刻过程从将晶片加载到扫描静电卡盘开始，静电卡盘通过静电力将晶片延伸到加工室的表面上。射频发生器随后适当地为平面天线供电，在天线和晶圆表面之间形成电子电离等离子体的护套。然后开始向晶片施加离子通量，帮助蚀刻过程。在获得所需的蚀刻剖面后，将一种净化气体引入反应器，从而关闭等离子体并终止蚀刻过程。净化气体还有助于包含蚀刻过程中的大量颗粒，因为必须仔细监测颗粒，以保持晶圆表面的清洁度。该装置还提供灰烬工艺，以清洁晶圆的面向等离子的表面，并去除蚀刻造成的任何表面损坏。灰分工艺与蚀刻工艺类似，采用相同的射频发生器和净化工艺。839-102001-069是一个先进的蚀刻/灰化模块化过程解决方桉,提供精确、高性能的功能,最小的维护和最小的操作员监督。