二手 LAM RESEARCH 852-030038-601 #293661559 待售

ID: 293661559
Lower reaction chamber.
LAM RESEARCH 852-030038-601 蚀刻器/asher是半导体工业中用来制造元件的工具。它是等离子体加工工具的一种,是蚀刻器和灰烬器的组合。这种特殊的机器用于去除半导体晶片表面的不需要的材料。它通过利用电离气体和钝化气体的组合来蚀刻不需要的层,同时使用一个asher通过消除残留物来清洁表面。852-030038-601 蚀刻器/asher可以以高精度和高度的可重复性操作。这使得它能够生产出具有精确设计公差的高质量半导体元件。该机还能够具有多用途的工艺配方和易于调节的平台特性,如改变功率输出、降低蚀刻工艺速度等。这使得它适用于广泛的蚀刻工艺和最佳的工艺配方优化。此蚀刻器/asher还具有高级处理器和自动化功能,可提供可靠和一致的结果。它具有多室设计和专用气体分配系统,这对于控制气体浓度和确保均匀的物料清除至关重要。此外,LAM RESEARCH 852-030038-601包括一个多梁平行蚀刻系统,允许精确形状和轮廓控制蚀刻特征。852-030038-601 蚀刻器/asher具有诸如腔室吹扫和压力传感器等安全特性。这些工作确保在蚀刻过程中有适当的操作压力,并防止腔室过压。这确保了人员的安全和设备的保护。机器还具有主动温度控制,以保持整个晶圆表面的稳定过程温度。此蚀刻器/asher能够提供高效、高速的蚀刻工艺。它还能够利用其先进的组件和自动化功能减少周期时间和浪费。结合蚀刻和洗涤过程可以帮助降低总体成本和周期时间。LAM RESEARCH 852-030038-601 蚀刻器/asher是半导体行业的可靠工具,非常适合生产高质量、经济高效的元件。
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