二手 LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D #9143212 待售

LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D是为晶圆加工和器件制造而设计的先进蚀刻设备。它使用化学、激光和热技术的组合来蚀刻或图桉晶片，包括定制图桉层、多层和厚膜。853-012123-001-G-230D系统能够对100-500mm晶圆进行阵列处理。它具有高精度光学单元，可精确定位晶片和光致抗蚀层。该体系结构旨在提供低成本、可靠的蚀刻和退火过程,同时仍能够满足众多应用程序的过程要求。LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D的主要蚀刻和退火功能是一种先进的激光屏蔽技术。这台机器的设计允许激光和热保护从高能光束用于蚀刻和退火，同时仍然提供必要的晶圆图案。为确保每一层都有精确的图桉，该工具具有精确的光学资产，可以进行球跟踪和对准。此外，该模型旨在提高工艺的均匀性，并提供静电和磁场，以便更好地控制晶圆图样和材料。对于蚀刻工艺本身，853-012123-001-G-230D采用两种不同的技术。第一种是湿蚀刻工艺，用化学物质对晶圆表面进行图桉。二是干蚀刻工艺，用气态等离子体蚀刻表面。与传统的蚀刻方法相比,这允许更高的图样精度和速度。此外,该设备还具有温度控制功能,可增强蚀刻工艺.为降低颗粒污染风险，LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D系统设有专用过滤单元。这台机器减少了可以进入工具的空气传播颗粒和灰尘的数量。此外，蚀刻资产具有集成的监测系统，使操作员能够更好地监测蚀刻过程并确保质量和准确性。最后，该模型具有强大的冷却设备，以保护其组件免受加工过程中产生的高温影响。总体而言，853-012123-001-G-230D系统旨在提供高精度的表面蚀刻和晶片退火。它具有一系列先进技术、强大的过滤和冷却系统以及专用的监控功能,以确保最大程度的工艺准确性和可靠性。