二手 LAM RESEARCH 853-025083-001 #293641757 待售

LAM RESEARCH 853-025083-001是一种用于半导体器件制造的蚀刻器/灰化器。它是一种多腔、高密度的等离子体蚀刻器，能够对各种基材进行图样化。853-025083-001设有四个装有独立射频源的加工室，允许每个室同时蚀刻。每个腔室能够产生高密度的等离子体来快速处理晶片。LAM RESEARCH 853-025083-001提供方便的维护通道,可通过双向前装载室进行。此外，其新的气体输送设备产生精确的气流精确蚀刻参数。853-025083-001是一个先进的蚀刻系统，具有集成的边缘偏置技术，最大限度地减少等离子体蚀刻轮廓。其改性的射频电离器提供高密度等离子体，用于在晶圆上均匀蚀刻速率。由Plasmalab®驱动的源管理可灵活更改基板之间的蚀刻参数,以实现优化的蚀刻结果。同轴淋浴头设计搅拌电离气体均匀蚀刻结果。而且，二维工艺状态验证单元、实时端点检测、温度控制等提高了机器性能。LAM RESEARCH 853-025083-001包括一个自动化的计算机界面,可用于存储数据、查看结果、优化过程参数以及快速更改组配方或从一个工具转移到另一个工具。853-025083-001具有安全特性,包括浮动联锁工具和过程安全的外壳设计,可保护人员和环境免受危险等离子体和有害材料的侵害。LAM RESEARCH 853-025083-001是设计用于晶圆制造和半导体器件生产的先进蚀刻资产。它具有提供均匀蚀刻结果的功能,同时在蚀刻过程中将等离子体蚀刻轮廓减至最小。此外,它的自动化计算机界面允许用户快速存储数据、查看结果和优化流程参数。其安全特征还保护人员和有害物质的环境。