二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是为半导体器件制造而设计的湿工艺蚀刻/灰化设备。它采用了一整套先进技术,旨在提高工艺性能、降低总体拥有成本、降低污染和提高安全性。9400 DFM系统由模块化设计组成,可定制以具有广泛的技术和过程应用。该单元包括完全集成成像、温度控制、监控和质量流控制器（MFC）。这些组件共同实现了一致的沉积速率,确保了高质量、可重复的蚀刻/灰化。LAM RESEARCH 9400 DFM的多区域设计允许在过程的每个阶段进行最佳的热控制。DFM还包括一个独特的功能，允许同时开发多个腔室和快速循环时间。9400 DFM机具有双蒸汽输送工具,允许更高的蚀刻选择性、改进的均匀性和改进的工艺性能。该资产还包括一个专用晶片加热器，可改进晶片表面的温度控制，这对于生产高质量、先进的工艺设备至关重要。该型号还包括用于可选蚀刻化学传递的窗口晶圆酯端口和用于改进各向同性蚀刻的可选氢阳极。LAM RESEARCH 9400 DFM的平台包括一个3800控制器设备和一套流程自动化模块，确保可重现流程和可追溯数据。流程配方可以存储在数据库中,通过系统的OPC服务进行远程访问和直接控制。9400 DFM采用原位清洁和超压防护技术进行工程改造，以减少等离子体引起的颗粒污染的可能性，进一步提高工艺性能。总之，LAM RESEARCH 9400 DFM是高性能的设计，是制造先进器件和微电子工艺的理想解决方桉。它为用户提供灵活的配置、优化的温度控制、集成成像、用户友好的参数、快速的周期时间、先进的工艺自动化以及杂质保护。