二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9011879 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一种先进的蚀刻/asher技术,用于创建具有一致结果的高精度模式。它的设计结合了光刻和蚀刻/灰化技术的优点,以最大的生产力提供卓越的效果。该设备的设计采用了简化过程并快速高效地产生结果的功能。9400 DFM是一个紧凑但功能齐全的系统,具有闭环、机器人接口、高吞吐量和广泛的工艺选项。它具有先进的垂直光刻单元，具有分阶段图样和增强的场溅射机，能够实现纳米尺度的结果，具有可重复的精度。还包括可选择步高的平面化和可移动基板卡盘，以便于材料进出刀具。LAM RESEARCH 9400 DFM提供非接触式原位和后处理端点检测，具有一系列测量薄膜特性的光学监视器，包括薄膜厚度、轮廓厚度和薄膜成分。这样可确保在蚀刻/灰化的所有阶段都具有高精度和准确性。该资产还可用于各种其他过程，如光刻和介电硬掩蔽应用。除了提供良好的蚀刻性能外,9400 DFM还提供使用以太网、USB或TCP/IP协议的可靠无线通信。这样可以更快地传输数据和自动记录结果。此外,该模型易于编程,并附带一套软件工具,使用户能够根据自己的特定需求自定义流程。LAM RESEARCH 9400 DFM适用于广泛的行业，包括电子制造、半导体封装、医疗器械制造、MEM和光学元件。它是为半导体制造业带来最大生产力和可靠成果的可靠高效设备。