二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9181359 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一款先进的等离子蚀刻器/Asher,在许多应用程序中提供无与伦比的性能。它采用了高度精确的时间和空间控制离子蚀刻工艺，在广泛的蚀刻任务中取得了优异的成绩，能够在2.5纳米以下进行蚀刻。9400 DFM可用于晶片、滤波器、薄膜等精细特征的精密蚀刻，精确度高。LAM RESEARCH 9400 DFM配备了两个精密离子源（EIS）室，能够提供真空和大气处理。它还采用了双模CF（碳纤维）技术，允许卓越的CVD（化学气相沉积）和蚀刻性能。这是通过更高的等离子体密度和碳纤维独特的原子贡献相结合而实现的。该设备能够蚀刻多种材料，可用于广泛的应用。这些包括介电蚀刻、硬掩模蚀刻、接触蚀刻、通过蚀刻和大马士革蚀刻。蚀刻结果具有很高的可重复性，为斜面和光刻蚀刻提供了优越的边缘和氧化物粗糙度。该系统还采用了一些先进的控制技术，以确保室的最高可重复性。它采用了先进的射频偏置控制单元，使机器对离子能量和溅射具有优越的控制。它还包括一个称为商会管理资产的先进自动化工具，该工具使9400 DFM的操作自动化，减少操作员的错误，提高正常运行时间和生产率。LAM RESEARCH 9400 DFM是一种高级蚀刻器/asher,用于产生高度精确的特征,可用于广泛的应用。该模型具有多种先进的控制技术，以确保可重复蚀刻结果，其双模CF技术提供卓越的CVD和蚀刻性能。它已经成为蚀刻性能的行业领导者，是半导体行业很多企业的首选蚀刻器。