二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一种专门为满足先进晶圆制造要求的挑战性需求而设计的蚀刻器/asher。该设备能够进行各种传统的干式和湿式蚀刻工艺，以及新的蚀刻/晶体生长和化学机械抛光工艺。该系统具有先进的过程控制软件和最先进的光学封装,为高端晶圆处理提供卓越的生产效率和质量性能。该单元能够在平面和3D晶圆尺寸上蚀刻和灰化到亚微米尺寸和复杂结构的特征。双交付系统可提高吞吐量和用户灵活性。该机还具有先进的温度控制和散热技术,提供热管理功能。9400 DFM随附多种模组，例如专为增强薄膜沉积而设计的高压换能器模组。它还具有一个高温沉积模块，对快速热处理提供精确的控制。三室金属灰光器等灰光器具有自动装卸能力，可进行全自动操作。LAM RESEARCH 9400 DFM具有一系列先进的工艺监控功能，如反射计监控（RPM）和激光干涉测量。这种先进的数字化工具可以连续监控蚀刻深度和温度,以确保优化过程控制。此外，它还包括专门的控制系统，以监测生产数据或触发潜在过程错误的警报。该资产还具有一层计量模型，提供了详细的缺陷分析膨胀门结构和光刻层厚度。9400 DFM还提供先进的跟踪技术，其中包括用于监测和过滤颗粒物和污染物水平的粒子检测设备。这导致产量和工艺结果的提高。该系统是为优化计量而设计的，其集成控制面板允许手动操作以提高灵活性。LAM RESEARCH 9400 DFM是一种多用途蚀刻器/asher,能够处理各种高级蚀刻要求,适用于高精度制造工艺。该单元具有先进的过程控制功能和自动化模块,可在半导体加工中提供卓越的生产效率和质量性能。此外,其先进的监控能力确保了卓越的工艺控制和生产效果.