二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9238153 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM（Deep Feature Etch and Asher）是一种最先进的蚀刻和asher解决方桉，旨在满足先进半导体器件制造快速变化的需求。这种坚固耐用的蚀刻器/Asher具有很高的能力,但成本效益高,能够对各种材料进行精确的蚀刻和表面清洁。9400 DFM通过强大的硬件配置提供了卓越的流程可靠性,包括经过验证的可靠的PI/PID控制和先进的前馈设备,可实现精确的流程可重复性。LAM RESEARCH 9400 DFM卓越的定向蚀刻能力还提供了无与伦比的工艺几何形状和表面质量，其离子束基蚀刻为各种结构和几何形状提供了无与伦比的精度和控制。9400 DFM还包括多种高级硬件功能，包括全自动安全关机系统、多阶段集成热管理环境、快速释放支持工具以及完全集成的负载锁定单元。这样可以确保过程安全可靠,使用户对高产结果和可重复的过程性能充满信心。LAM RESEARCH 9400 DFM还具有多个可选的附加模块，如集成的粒子陷阱、防污染屏蔽以及蚀刻后非接触成像功能，允许用户随着时间的推移需求变化扩展机器的功能。9400 DFM的先进特性和强大配置使其成为先进半导体器件制造应用的理想选择。此蚀刻器/asher能够结合速度、精度和可靠的性能来解决即使是最复杂的过程要求,从而使用户能够将其设备制造提升到一个新的水平。