二手 LAM RESEARCH 9400 PTX #293767943 待售

LAM RESEARCH 9400 PTX是一种蚀刻器/asher,提供基于解决方桉的深层等离子体蚀刻和灰化应用。它旨在处理最高的纵横比精度结构和最深的临界蚀刻，具有卓越的工艺重复性。这提高了制造工艺的吞吐量和产量,并保证了材料的最佳质量。LAM RESEARCH 9400PTX提供每小时500多个晶圆的最大吞吐量,非常适合各种大批量制造应用。该设备用于在单个腔室中处理单个或多个目标,从而提高灵活性和生产率。LAM RESEARCH 9400 PTXs先进的等离子体化学包括独特的脉冲等离子体技术，提供高度的均匀性和可重复性，并最大限度地减少废物量。该系统先进的工艺配方开发方法提供的工艺控制精度优于0.5 μ m。9400 PTX还提供了业界最高的一致性和运行到运行的可重复性。此外，9400PTX有一个集成腔室设计，使过程的稳定性和支持晶圆级温度控制。其精密的晶圆传输单元可确保达到4英寸批量的精确、可重复的运动。机床的工具和配方访问由机载计算机启用,这为工程师提供了灵活性,使他们能够准确、可靠地处理产品。腔室的维护特点、改进的安全协议和闭环过程控制应有助于降低总体操作成本，并最有效地利用过程气体。LAM RESEARCH 9400 PTX还拥有一个易于使用的直观平台，为用户提供对蚀刻工具的完全控制。它还提供了数据管理软件，使用户能够轻松地导出数据进行分析，并存储趋势和多种配方的数据。综上所述，LAM RESEARCH 9400PTX蚀刻机为复杂结构的精密深度蚀刻和粉刷提供了无与伦比的工艺精度和可重复性。其先进的等离子体化学和集成腔室设计，使其成为各种大批量制造的理想资产。9400 PTX是可靠、准确的蚀刻和灰化工艺的优选。