二手 LAM RESEARCH 9400 SE #293799084 待售
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LAM RESEARCH 9400 SE是一款高性能、经济实惠的蚀刻器/asher,非常适合半导体制造应用。利用先进的等离子体干蚀刻和灰化技术，为先进的产品开发和工艺优化提供了最高的产量和最大的生产吞吐量。先进的技术能够精确控制过程变量,从而带来卓越的产品性能。其中包括两个独立的腔室，一个配有双频感应线圈，一个配有双频射频线圈，以及自动补充技术功能。集成设备通过提供精确的蚀刻参数,缩短复杂产品的上市时间,帮助用户降低总体成本。15英寸大的低温触摸屏提供了完整的边缘到边缘的可见性,并简化了数据记录。LAM RESEARCH 9400SE提供15.6升的大室容量,可选择三种不同尺寸的蚀刻室-6、7和8英寸。这样可以在高温蚀刻环境中实现高蚀刻速率。集成的原位端点检测器模块可确保过程的均匀性和可重复性。蚀刻系统的设计确保了极快的冷却速率和亚微米特性分辨率。这有助于节省宝贵的时间并提高工作效率。它在所有晶圆尺寸和腔室配置方面也具有出色的均匀性。此外，该单元还包括一个晶片敏感器自动加载器和两个晶片传输机制，以有效处理多个晶片批次。9400 SE为众多蚀刻应用程序提供了巨大的过程灵活性和准确性。这些应用包括通过路由、阈值逻辑层以及用于高级封装和高频射频设备的介电层蚀刻深层DRC/sub-0.25µm视图。它还提供了增强化学控制、多步蚀刻、高级工艺集成和控制等高级功能，全部在一个单元中。该机器的设计有助于优化腔室疏散，比标准蚀刻系统减少最多50%的蚀刻时间。9400SE提供耐腐蚀的不锈钢腔壁、柔性支撑板设计以及石英屏蔽和敏感器的精确对准。这样可以以最低的停机时间和维护成本来确保优化的流程环境。总体而言,LAM RESEARCH 9400 SE 蚀刻/asher的先进技术优化了设计权衡,为成本敏感和快节奏的半导体制造过程提供了最大的性能和可靠性。该单元可提供高生产率、卓越的可靠性和低消耗成本,从而最大程度地节省成本。
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