二手 LAM RESEARCH 9400 SE #9226497 待售

LAM RESEARCH 9400 SE是为广泛的晶圆处理应用而设计的最先进的蚀刻机asher设备。LAM RESEARCH 9400SE是一个多室单元，提供卓越的晶圆处理和可重复性，以提供卓越的性能，使其成为最可靠和用途最广泛的系统之一。9400 SE的核心是晶片蚀刻灰烬，可能有多种选择，如感应耦合等离子体（ICP）、化学机械平面化（CMP）和反应性离子蚀刻（RIE）。9400SE的标准组件在交替和单个工艺周期中提供高效和高级的蚀刻和灰化功能。支持主要蚀刻/灰化模块的是多种机制,可确保出色的晶圆处理和安全性。LAM RESEARCH 9400 SE具有三轴晶圆运动模块，能够在X、Y和Θ轴上实现精确、可重复的晶圆运动。运动由高分辨率步进电机驱动，并由闭环反馈系统精确控制。该单元还配备了负载锁定机，能够快速的晶片装卸。工具的内部压力可以根据应用要求进行调整。LAM RESEARCH 9400SE设计具有广泛的安全功能。这包括一个集成的残余气体分析仪，该分析仪监测蚀刻/灰化过程，以尽量减少污染和对晶圆和工艺室的潜在损害。该资产还配备了提供实时故障检测和修复的自动故障检测和修复系统。最后,9400 SE专为洁净室操作而设计,采用先进的静电屏蔽材料,可确保电离辐射、EMF和EMI水平较低的恒定环境。9400SE满足各类芯片生产工艺的严格安全要求，在晶圆级提供卓越的均匀蚀刻和热均匀性。由于其先进的特点，高可重复性和均匀性，这种模型是理想的范围广泛的晶圆蚀刻灰工艺。LAM RESEARCH 9400 SE具有卓越的性能、可靠性和安全性,是一款功能强大的晶圆加工和生产工具。