二手 LAM RESEARCH 9400 SE #9230784 待售

LAM RESEARCH 9400 SE是一款设计用于半导体生产的高度先进的蚀刻器/asher。其高均匀性和准确性，加上模块化架构，使其成为关键蚀刻应用的理想工具。LAM RESEARCH 9400SE具有两个独立的工艺室,配置为并行板状设计,允许同时处理各种尺寸的多个基板。可以手动或在程序控制下调整压板，以优化整个基板上的蚀刻均匀性。9400 SE还采用了LAM RESEARCH专有的DELTA™技术,允许对等离子体进行自动动态控制,以提高蚀刻的均匀性、平面性和吞吐量。直观的用户界面和嵌入式过程监视功能可确保快速且可重复的蚀刻。9400SE利用20微米聚焦离子束（FIB）技术进行关键蚀刻应用。通过控制离子束和电子束，可以优化蚀刻剖面和蚀刻速率。FIB单元还能够在蚀刻过程中将各种离子植入基材中。此外，多个工艺室都配备了质谱能力，允许对整个蚀刻过程中的工艺气体进行分析。LAM RESEARCH 9400 SE还包括一个原位清洁能力，可以方便快速地清除碎片。该单元还有可靠的电源支持,确保蚀刻器/灰烬的安全和一致运行。先进的冷却系统进一步加强了LAM RESEARCH 9400SE的坚固设计，效率与加工基板的数量成正比。9400 SE为半导体行业带来了开创性的蚀刻加工创新。其模块化平台支持多种蚀刻应用，提供经济高效的商业解决方桉。高性能和高效率是系统的关键特征，能够实现一致和可重复的蚀刻结果。总而言之,9400SE可确保最高级别的可靠性,提供可靠且可重复的蚀刻处理。