二手 LAM RESEARCH 9400 #293762518 待售

LAM RESEARCH 9400是一种用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺的自动蚀刻和灰化器。它能够在-20°C至475°C的温度下批量或单晶片加工。设备在高温下工作的能力使得高质量的材料能够快速高效的沉积。机器的大腔室允许加工直径不超过12英寸、厚度不超过0.4英寸的晶片。9400由先进的用户友好型系统控制,具有易于使用的人体工程学设计。该机组配备了气体监测机、自动排气等多项安全功能。它采用了扩散粘结泵房，通过蚀刻和灰化工艺提高了性能。LAM RESEARCH 9400还配备了高级软件模块，用于自动化流程，优化配方，提供实时反馈。该工具利用了多种蚀刻和灰化化学溷合物，包括碳氟化合物、卤化碳、碳氢化合物、硫和卤素。它还能够处理无菌过程，能够快速测试和验证产品质量。资产包括两个或三个流程模块,具体取决于客户的应用程序。第一个工艺模块是蚀刻器，用于沉积源气体，清洗晶圆，并应用所需的蚀刻和灰化工艺。然后，第二个工艺模块就是asher，它在清除任何残留物的同时也便于去除表面污染物。最后，第三个模块是转运器，它传输和固定晶圆在加工模块之间移动晶圆。9400有几种操作模式,包括专用蚀刻和灰化,以及组合蚀刻/灰化或蚀刻/补偿。此外，LAM RESEARCH 9400还包括复杂的控制和监测系统，以监测温度、压力、流量和其他操作参数。最后,该模型可以自我诊断,以提醒您注意任何问题和错误,并提供宝贵的反馈,以提高流程效率并确保获得最高质量的结果。