二手 LAM RESEARCH 9400 #293776309 待售

LAM RESEARCH 9400是一个业界领先的高吞吐量批量蚀刻器/asher,其设计和制造的可靠性很高,能够满足最苛刻的生产要求。它采用小巧、低调的设计,占地面积小,可优化任何制造环境中的性能。设备高度灵活，并配备了一系列高速蚀刻和晶圆ashing的定制选项。其中包括一系列工艺室和压力控制面板,每个室最多有三个蚀刻器/灰烬,在一个系统中可提供最大的工艺能力。它可以配置用于多种工艺技术，包括光刻胶去除、表面平面化、材料蚀刻和介电蚀刻。该部门使用LAM的专有LatticePro™高级控制软件,该软件提供精确的蚀刻和灰分配方自动化,以及高级数据收集和报告功能。软件由一系列配方和流程管理工具支持,使您能够快速开发可重复和可靠的流程。该机提供多种安全功能，包括安全开关、能源监测和紧急停止系统。该工具还采用真空互锁，在操作过程中保护工艺室和负载锁，有助于最大限度地降低风险，提高工艺保真度。此外,还可以使用设备的以太网远程监视资产。该模型的设计具有最高的性能，具有高通量的蚀刻器/灰烬，以及用于掺杂活化和扩散的快速晶圆加热系统的选择。此外，该设备设计用于最低限度的维护，具有优化的工艺室清洁周期和气体压力和流量的自我补偿，使系统具有很高的可靠性和成本效益。综上所述,9400是一款全面可靠的蚀刻器/asher,它是为满足最苛刻的生产要求而量身定制的。它提供高水平的性能、灵活性和成本效益,使其成为任何工业制造操作的极具吸引力的选择。