二手 LAM RESEARCH 9400 #293814136 待售

LAM RESEARCH 9400是一种高度先进的蚀刻器/asher设备,它允许广泛的高级蚀刻和灰化工艺。该系统采用先进的斜角晶片室设计，具有广泛的板载蚀刻和灰化技术，能够实现快速、准确的蚀刻/灰分工艺。该装置配有石英晶体微天平（QCM），精度极佳，速率快，均匀性和收率最佳。该机采用先进的基于PC的控制器，可实现快速可靠的作业控制，并提供一系列各种参数的工艺配方。该工具设计用于处理从2英寸到200毫米的各种尺寸,一次最多可处理100个晶圆。资产利用一系列高级附件（如专用计量工具）来改进流程结果。9400蚀刻器/灰化器可用于执行各种蚀刻/灰分工艺,如干蚀刻和定向蚀刻,从而实现高长宽比填充和接触孔以及双面加工工艺。该模型适用于各种晶圆和掩模材料,从而提高了效率并提高了吞吐量。它还具有很高的可扩展性,允许同时执行基于批处理和单个晶片蚀刻/灰分处理,从而实现经济高效的解决方桉。该设备可以配备额外的气源和独特的多级工艺，从而实现复杂设备的最佳制造。LAM RESEARCH 9400由MARK 5500软件支持,MARK 5500软件是一个功能强大、直观的软件平台,结合基于PC的Job Manager,可实现快速、轻松的参数输入、优化和过程控制。集成软件还为各种应用程序提供预定义的蚀刻/灰烬配方，以及对高级材料数据库的访问。该系统还得到了一系列后处理功能的支持，如氧化物平面化和钝化，以确保最大程度地提高工艺的可重复性。总体而言,9400是一个高级蚀刻器/asher单元,专为高性能应用程序而设计。该机器提供了一个坚固和高度精确的蚀刻/灰分工艺，优化了一系列的基材和应用。该工具具有全面的支持软件和高级工艺工具,是研究和生产环境的理想选择。