二手 LAM RESEARCH 9400 #293814142 待售

LAM RESEARCH 9400是一款来自LAM RESEARCH的前沿蚀刻器/asher。9400是一种多功能、高性能的设备，能够处理各种类型的蚀刻和ashing应用。LAM RESEARCH 9400以经过验证的9200平台为基础,利用先进的多层自动化、高精度深度控制和先进的双室操作,提供了更好的吞吐量能力。它为用户提供了一个强大可靠的平台，用于所有类型的蚀刻和灰化应用。9400采用双室设计，带有工艺室和净化室，允许增加吞吐量。该系统集成了自动化多层控制技术，是一系列蚀刻和灰化作业的理想选择。LAM RESEARCH 9400利用LamShare软件包控制蚀刻和灰化过程,为用户提供了一个非常直观的界面,以便于操作。此外,该单元还具有最先进的3轴位置精度,高于行业标准,可实现准确和可重复的结果。9400具有出色的温度均匀性,稳定性等级为+/-0.25 °C。这台机器与KOH、H3PO4和XeF2蚀刻化学系统兼容。它能够处理任何材料，包括硅和砷化氙。LAM RESEARCH 9400还提供均匀的蚀刻速率和受控的层力,有助于确保一致的结果。9400是一种环保的工具，利用零压力泵，有助于提高蚀刻性能，降低能源成本。LAM RESEARCH 9400还采用了先进的紫外线（UV）工艺控制,提高了蚀刻精度,使其成为需要高度精度和性能的制造环境的理想选择。除了9400的先进功能外，还融入了一系列安全功能，如加热清洗歧管、安全联锁、手动紧急气体关闭、ETCHGUARD™安全资产等，为运营商提供额外的安心。LAM RESEARCH 9400是一种高级蚀刻器/asher,适用于各种蚀刻和灰化应用。它提供了增强的吞吐量能力、先进的3轴位置精度、高度均匀的温度控制以及广泛的安全特性,使其成为高性能蚀刻和灰化作业的理想选择。