二手 LAM RESEARCH 9400 #9154664 待售
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已售出
ID: 9154664
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
Loader: Auto loader
Option: Dummy port
Robot:
Single arm
Ceramic blade
Inner loadlock: Al arm
Outer loadlock: Al arm
HDD
Software: Classic
Generator top: AE, RFG 1250
Generator bottom: AE, RFG1250
Turbo pump: SEIKOSEIKI H1000L
Clamp type: ESC
Anodize type
Throttle V/V: ASS, 84021-R1
Gas box:
Cl2 / 200sccm / STEC / SEC7440 C2F6 / 200sccm / STEC / SEC7440
HBr / 200sccm / STEC / SEC4400
N2 / 10sccm / STEC / SEC7440 He / 200sccm / STEC / SEC7440 SF6 / 200sccm / STEC / SEC7440
O2 / 200sccm / STEC / SEC7440 O2 / 10sccm / STEC / SEC7440
AC Power rack: Chiller
TAITEC CH-800B
Dry pump: No
Currently warehoused.
LAM RESEARCH 9400是由LAM RESEARCH Corporation设计制造的Etcher/Asher。用于半导体工业中的蚀刻和灰晶片。9400是一个完全自动化的系统，包括了一些单独的模块和组件。它支持包括硅、碳、铜、铝在内的广泛的基材材料。该系统有单室和多室两种配置，可提高大规模生产的吞吐量。还可以使用其他功能（例如集成式湿式工作板）对其进行定制,以满足客户的特定应用需求。LAM RESEARCH 9400有一个集成的过程控制器来管理晶圆高度和温度。它在蚀刻和灰化过程中使用了多种气体种类，如氙气和氧气。它可以在单相或多相模式下运行,具体取决于客户的要求。它具有自动晶片处理功能,最多可同时容纳5个晶片。9400专为洁净室使用而设计，并符合最严格的ISO14001标准。它可以处理大小为0.1微米的粒子。此外，它还具有冗余过滤和气体净化系统，以尽量减少副产品和颗粒产生。LAM RESEARCH 9400专为易于使用而设计,具有直观的命令驱动触摸屏图形用户界面。它还具有用户定义的协议,并且可以编程为自动执行日常维护任务。9400是一种可靠高效的蚀刻和灰分处理工具。其先进的自动化系统有助于确保高产率和高质量的晶片，具有一致的工艺结果。其内置的安全功能保证了操作人员和清洁室内其他人员的安全。
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