二手 LAM RESEARCH 9400 #9164962 待售

LAM RESEARCH 9400是一种先进的超高真空蚀刻器/灰化器,用于关键部件的精密蚀刻和灰化,如半导体制造过程中使用的部件。9400利用精确、精确的流量和压力，结合严密的温度控制，在低颗粒污染下实现精密处理。它通过使用多个电极构型在GaAs和Si基板上均起作用，也适用于任何基板类型的干蚀刻。LAM RESEARCH 9400包含用于晶圆载体的全金属锁载室，以及用于蚀刻和灰化的加工室，允许快速装卸基板。主腔室通过一个可磁场渗透的合金窗口与锁载腔室隔开，提供了最终的免受污染的保护。系统的过程方面是通过使用安装在腔内的两组电极来处理的。它们采用直等离子体射流或带通道的射频改性等离子体射流配置，用于控制沉积速率，实现精确蚀刻，并消除过程中的漂移。9400能够产生最高水平的加工精度，蚀刻速率在每秒100-10,000埃，长宽比高达40：1。它还支持最高级别的后处理控制,完全自动化配方和精确的过程监控,以及控制和数据记录。LAM RESEARCH 9400还具有多项安全功能,包括故障自动关闭和报警通知,以及手动和可选的自动负载锁,用于更换基板。总共9400集最新技术和最高精度于一身，为半导体制造生产线提供了强大的蚀刻器/灰化器。其优越的性能保证了最优质的基板能够以最高的精度和可靠性进行加工。