二手 LAM RESEARCH 9400 #9225455 待售

LAM RESEARCH 9400是一款全自动的高性能蚀刻和asher设备，设计用于半导体晶片的高精度蚀刻和清洗。9400支持非常快的过程时间,是高吞吐量生产的理想选择。该系统由一个大体积的水平腔室和石英气体分配板构成，允许等离子体均匀分布在晶圆表面上。LAM RESEARCH 9400还拥有先进的射频匹配网络,可提供最高的功率效率并确保最佳的等离子体均匀性。9400的设计旨在最大限度地减少过程变量的数量,优化深度蚀刻和模式传输应用的蚀刻吞吐量。该装置还利用精确控制的静电卡盘进行自动校准和精确的晶圆夹紧。其脉冲电容耦合等离子体（PCCP）技术具有独特的扫频有源气流控制机，可在多个晶圆直径上提供稳定、高均匀度的蚀刻工艺。此外,LAM RESEARCH 9400采用现场监控和两级输入功率控制,以确保实时过程控制和可重复性。该工具为关键蚀刻过程提供了极高的等离子体蚀刻速率、均匀性和可重复性。其先进的控制环路监测和控制策略可确保在蚀刻过程中轮廓的准确一致性,即使对于要求最苛刻的过程窗口也是如此。该资产还具有很高的可扩展性，以适应最广泛的蚀刻应用，从小型研发工作到批量生产过程。总体而言,9400是业界领先的蚀刻器/asher型号,具有先进的特性和功能,使制造商能够实现更快的吞吐量、更高质量的产品和更高的成本效率。LAM RESEARCH 9400凭借其先进的控制系统、原位监控和精确控制的静电卡盘，是满足任何半导体蚀刻和清洁需求的绝佳设备。