二手 LAM RESEARCH 9400 #9250094 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先进的蚀刻/asher设备。采用尖端技术设计了晶圆加工的最佳产量和吞吐量。它是一个紧凑的高通量系统，拥有广泛的特定于应用程序的过程。9400构建在可扩展的体系结构上,旨在提供最大程度的控制和灵活性。它采用高性能蚀刻算法,能够满足高吞吐量和最高精度水平。该单元可以处理各种蚀刻参数，能够自动调整蚀刻速率，以保持整个晶圆的工艺性能均匀。LAM RESEARCH 9400具有低压两级立版蚀刻器。这种设计不需要额外的加工室，允许一个更紧凑的机器。该工具还提供了一个先进的蚀刻源，利用一个盒装加热器，提供卓越的性能和产量。9400具有内置的流程监控资产,可确保整个流程周期的流程和工具完整性。LAM RESEARCH 9400还提供了一个大气扫描仪，允许用户监控和控制整个晶圆的蚀刻过程。其先进的气体输送模式，9400可以提供准确和可重复蚀刻剖面。此外，LAM RESEARCH 9400采用层层均匀性控制，包括逐区氮化物蚀刻和可调电流斜坡等特点，确保了可重复的工艺。它还配备了先进的模模监测，为更高的晶圆产量提供了更好的工艺控制。9400是一款功能强大的蚀刻/asher设备,非常适合当今领先的半导体生产技术的苛刻需求。LAM RESEARCH 9400以先进的材料和技术为基础,是晶圆加工达到高产量和高吞吐量的理想系统。