二手 LAM RESEARCH 9400 #9250095 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先进的等离子体蚀刻器/asher，设计用于进行高精度的蚀刻和沉积过程。它是一个先进的设备，支持多种蚀刻模式，允许高精度蚀刻具有高选择性和均匀性。它用途特别广泛,具有多种硬件和软件配置,以符合单个项目的特定蚀刻要求。9400具有高度集成的控制系统,提供了用户友好的界面,简化了蚀刻过程的设置和操作。该装置配有一个负载锁室，用户可以轻松地加载和卸载晶片，以及一个允许晶片多向移动的旋转基板载波。将电动高度调节和完全可编程的蚀刻配方控制与激光干涉仪运动控制相结合，为用户提供了对蚀刻性能的精确控制。通过将大量专用的过程传感器直接嵌入到机器中,可以实现过程监视和控制。这些传感器测量诸如射频功率、工艺室压力和晶圆温度等变量。通过提供有关工艺参数的反馈并提醒用户注意任何有害的气体或压力相关异常,有助于确保一致的蚀刻性能。LAM RESEARCH 9400还配备了先进的传感器来检测工具内的污染。这些传感器采用复杂的算法来检测潜在的材料沉积和腐蚀性堆积，为用户提供有关工艺环境的实时数据，使他们能够快速解决潜在问题。总体而言，9400是高级精密蚀刻（尤其是III-V、HfO2和SiO2等材料）的绝佳蚀刻工具。它具有强大而集成的控制资产、先进的监控功能以及使装卸晶片变得简单的负载锁室。使用此模型可以增加蚀刻过程的耐用性和长度,用户可以确保他们的项目掌握在良好的手中。