二手 LAM RESEARCH 9400 #9399063 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先进技术的蚀刻器/asher，旨在满足半导体行业的严格要求。它旨在提供最大的多功能性和灵活性,同时提供生产级别的灰化、蚀刻和沉积工艺。9400结合了高端性能和成本较低的操作,使客户能够优化其生产操作以减少成本、浪费和停机时间。LAM RESEARCH 9400拥有一系列先进的技术和能力,可提供最高的性能和最低的拥有成本。离子束电流和能量精度在业内是无与伦比的，使其成为蚀刻最细腻复杂层结构的理想选择。该系统利用自动过程控制、实时设置点调整和零件识别等多种技术和特点，确保处理过程中的准确性和可重复性。此外,9400还配备了LAM专有的基于高温过程的流量控制器和直接驱动电动机,以优化灰度、蚀刻和沉积速度、效率和循环时间。LAM RESEARCH 9400包括一个用于控制气体分配的集成气柜，用于快速工艺配方变更，以及高通量气体溷合能力。该系统的自动化过程流控制器（PFC）满足了半导体行业最严格的要求,无论零件尺寸或配方的复杂性如何,它都能保持一致的蚀刻、蚀刻和沉积过程条件。该系统旨在提供可靠可靠的工艺解决方桉，同时减少晶圆厂排气和过量产生颗粒。快速更换的晶片加载配置确保生产不间断,并且腔室设计为便于维护和维修。9400得到LAM RESEARCH综合流程支持计划的支持,以确保最高性能和最大的投资回报。