二手 LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635 待售
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ID: 9183635
优质的: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFG是一款高度先进的蚀刻器，专为生产晶圆和平板显示器而设计。它是大批量生产的绝佳选择，具有广泛的特点，使其成为任何生产线的理想解决方桉。9600 FEFG是一款高精度蚀刻器，提供对多种材料的精确蚀刻，包括金属、半导体和玻璃。该工具还具有不同深度和非常特殊形状的选择性蚀刻功能。该工具还旨在提供可靠的可编程性和高吞吐量,以实现最佳的生产效率。LAM RESEARCH 9600 FEFG的关键特点是其集成的运动控制设备。该系统保证了连续、完美的操作和卓越的性能，提供精确的定向和位置控制蚀刻。运动控制单元还提供了增强的可编程性，允许优化操作和增加吞吐量。此外，该工具的先进光学元件，加上集成激光器，确保了蚀刻线的精确和均匀蚀刻。激光可以配置为以不同的模式蚀刻,具体取决于应用程序。激光还提供了一个高度详细的位置线被蚀刻图像，允许深度的精确测量和精细线间隔的精确识别。在安全性方面，9600 FEFG提供了先进的防护措施，包括紧急停止功能和运动控制机锁定。这样可以确保工具的操作安全,而且不会造成过多的风险。此外,该工具还具有高度直观的触摸屏界面,可以轻松无缝地控制蚀刻器。界面还显示蚀刻过程的详细可视表示,允许操作员将可视图像与蚀刻轮廓关联起来。LAM RESEARCH 9600 FEFG是一种强大可靠的工具，非常适合生产晶圆和平板显示器。它提供精确控制、易于编程、强大的安全功能以及高度直观的界面。这使得9600 FEFG成为任何生产线的绝佳选择。
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