二手 LAM RESEARCH 9600 SE #9172340 待售
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LAM RESEARCH 9600 SE是一种蚀刻器/asher,用于加工和清洁各类半导体器件的材料表面。它是一个旋转蚀刻湿式站,为各种材料提供精确、高速的蚀刻工艺。它是一种经济可靠的设备,设计易于使用和维护。该系统包括一个集成的200毫米晶圆处理器,用于高吞吐量和可重复性,一个内部路由器和用于高速处理的高级清洁模块。符合人体工程学的设计提供了一个安全舒适的工作空间,带有自动芯片加载功能,易于读取的液晶显示屏,以及方便的顶置烟雾罩。较大的腔室尺寸和使用12个喷嘴,可实现高效、精确的蚀刻,具有很高的重复性和更高的吞吐量。LAM RESEARCH 9600SE能够处理潮湿或干燥蚀刻工艺,包括标准和低温加工。它支撑着广泛的材料和底物,如半导体晶片、硅、石英和砷化的。它还具有一个气体输送单元,控制流量和组成,确保过程的均匀性和可重复性。该机还配有综合软件,提供刀具控制、参数调整、数据分析以及每次蚀刻运行的完全可追踪性。这个复杂的软件还向用户提供实时结果数据,以及蚀刻过程中的问题通知、警报消息和资产关闭。9600 SE是工业级蚀刻湿式站,为各种材料提供快速可靠的表面处理。它具有直观的用户界面,具有很高的可重复性和效率。复杂的软件和复杂的功能确保模型能够提供预期的结果。其大腔室尺寸和集成晶圆处理程序使其非常适合大容量加工。
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