二手 LAM RESEARCH 9600 #199858 待售
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ID: 199858
晶圆大小: 8"
TCP metal etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -001
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: closed loop
Generator: 3 RFG 1250
RF match: upper TCP, lower mini match, DSQ match
Turbo: SEKO SEKI 1000L
Turbo controller SEKI SEKI STP
VAT gate: VAT 65
VAT controller: PM-7
Endpoint: dual endpoint 703nm and 520nm
DSQ: hinged
WVDS: auto fill
APM: standard
MFCs: unit 1660
Gas config:
Gas 1: CL2 200
Gas 2: BCL3 100
Gas 3: SF6 100
Gas 4: N2 50
Gas 5: N2 1000
Gas 6: Ar 1000
Gas 7: O2 1000
Gas 8: CF4 200
Gas 9: H20 500.
LAM RESEARCH 9600是一款高性能的蚀刻器/asher设备,旨在为各种工业制造应用提供卓越的性能和可靠性。该系统具有集成的1或2气体功能和先进的温度控制功能,使用户能够在所需的精确水平上精确地蚀刻或烧灰材料。这对于薄膜沉积、半导体器件制造、薄膜包装和光掩模制造等精密应用具有优势。9600还具有低噪声级别、基于数字窗口的控制器和板载诊断功能,非常适合自动化制造过程。易于使用的用户界面让用户只需触摸手指即可轻松访问参数并即时进行调整。该单元还具有高性能射频等离子体源，允许用户实现优越的蚀刻速率和均匀性。LAM RESEARCH 9600还设有先进的控制系统，包括温度传感器和工艺均匀性控制器，使用户可以轻松调整工艺参数，精确监控进度。其智能气体输送机有助于实现更高水平的过程均匀性和一致性。其他功能包括：用于精确蚀刻速率和均匀性的通用衬里、先进的电源和控制器、便于维护的模块化结构、按钮式气体启动器、更高的吞吐量和产量,以及可选的LAM RESEARCH车队管理。为防止污染，9600拥有全自动高效循环废气，有助于捕获颗粒物并防止其进入蚀刻室。这有助于确保质量和一致的蚀刻结果。总体而言,LAM RESEARCH 9600是一款高效、可靠、高效的蚀刻器/asher,非常适合工业制造应用。凭借其先进的特性和功能,它可确保卓越的性能和可靠性,帮助企业提高生产效率和效率。
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