二手 LAM RESEARCH 9600 #293822608 待售

LAM RESEARCH 9600是一种等离子体增强的化学气相沉积蚀刻器/灰化器，旨在产生高质量、高通量的小、大基板蚀刻和灰化。这种先进的蚀刻器/asher设计用于处理各种基材材料和工艺，提高工艺的可重复性。9600采用专利统一设计，以确保气体在整个晶圆表面均匀分布。它还具有双面气体输送系统，对蚀刻和灰化过程提供更高的精度和控制。这种蚀刻器/asher具有双解钩端点技术,它提供了比单端系统更高的蚀刻深度、速率和选择性控制级别。LAM RESEARCH 9600还具有更高的晶圆与平均功率密度比,以实现更高的可用性和更低的功耗,以及更高的吞吐量。9600的设计增加了一个远程等离子体源,使蚀刻过程能够超过各种灵活的过程参数。远程等离子体源集成到蚀刻器/asher中，允许用户实时调整过程参数。这些工艺参数包括蚀刻速率、选择性和过度蚀刻/底切。集成还可以通过消除对额外等离子体来源的需求来加快循环时间。LAM RESEARCH 9600配备了多区域排列电机定位器，用于精确的运动控制和可重复性。这样可以确保晶片在每个蚀刻/灰分循环中以相同的均匀方式移动。该定位器还为处理周期的其他方面提供运动控制，包括闸阀和快门运动。9600设计有集成的流程监控和诊断系统,可提供有关流程性能的实时反馈。然后使用此反馈来确保最佳结果并最大程度地减少设备停机时间。集成工具还具有事件记录和错误检测等多种功能。LAM RESEARCH 9600设计了一系列可选的外围组件,如负载锁和冷气分销商。这些组件允许用户进一步自定义流程并提高流程性能。蚀刻器/asher的其他功能包括防粘滞系统、快速开放时间和广泛的工艺温度。总体而言,9600是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供卓越的质量和改进的过程可重复性。它采用高性能组件和功能,以及一系列可选的外围设备和高级流程监控功能,为用户提供出色的蚀刻和灰化性能。