二手 LAM RESEARCH 9600 #9186503 待售

LAM RESEARCH 9600是一款高级蚀刻器/aspher,旨在促进高精度蚀刻和灰化工艺。9600几乎可以蚀刻任何材料,并利用模块化腔室设计最大限度地提高正常运行时间和工艺灵活性。它配备了多个源和水槽模块,可实现精确、高通量的蚀刻和灰化工艺,以及高达75 μ米的蚀刻厚度深度剖析和小于2 nm的低能灰化。先进的循环计算机和功能强大的软件套件提供了全面的控制和精确的结果，并且易于配置用于精确循环和过程优化。LAM RESEARCH 9600先进的真空监测和控制系统确保精密的蚀刻和灰化条件，低颗粒排放，保持腔室和晶圆环境清洁，最大收率。它还具有可选的Load Lock,允许与其他设备完全集成,从而获得最大的灵活性。9600是自动化的,易于操作和控制,以及具有广泛用户界面和可编程设备的界面。总体而言,LAM RESEARCH 9600提供了可靠、准确、高精度的蚀刻/灰化解决方桉,以满足半导体、封装和显示行业的需求。