二手 LAM RESEARCH 9600 #9191115 待售

LAM RESEARCH 9600是一种蚀刻器/asher，用于在半导体基板表面蚀刻导电材料层。该装置能够蚀刻最大厚度为300埃的材料层。9600是一种可靠、坚固的设备,具有高精度和可重复性。LAM RESEARCH 9600设有脉冲感应耦合等离子体源，该源拥有的副产物气体，由氙气和氧气，可以蚀刻氧化硅和多晶硅层。该设备包括一个带有图形用户界面的远程过程控制，以便于操作，以及提供在线支持的实时监控和诊断系统。此外，9600还具有静电卡盘，通过在蚀刻过程中消除颗粒和其他污染物来提高可靠性和准确性。它还有一个独立的接地电路，用于减少外部电噪声的影响，从而能够对具有敏感特征的层进行精确蚀刻。LAM RESEARCH 9600包括一个双转盘单元，最大基板尺寸为300 mm x 300 mm。Asher提供全温度平衡,最高基板温度为40 °C。它还提供了一个单程剖面处理,底物对底物的温度变化±为2°C。9600设计用于在洁净室环境中运行,需要208V交流电源12kVA和下部基座的净化气体连接。机器的安装很容易，因为它只需要进行平整，机器人阶段，（垂直和水平机器人）必须进行校准。重要的是要定期清洁腔室和基板支架，包括下部基座和出口。这保证了蚀刻过程中产生的粉尘颗粒不会降低基材质量，在产生的层上造成不可接受的缺陷。总体而言，LAM RESEARCH 9600是一种可靠且用途广泛的蚀刻器/asher，适用于厚度达300埃的蚀刻层。这种设备具有令人印象深刻的精确度,易于使用的图形用户界面,以及可容纳300 mm x 300 mm基板的双转盘工具。9600适用于洁净室环境，必须定期对腔室和基板支架进行适当清洁，以确保取得最佳效果。