二手 LAM RESEARCH 9600 #9204380 待售

LAM RESEARCH 9600是一种蚀刻器/asher，设计用于用专业材料处理晶片和基板。可自订此机器,以根据不同的流程需求量身定制应用程式。它由LAM RESEARCH生产，LAM RESEARCH是一家全球工艺应用供应商，它创新、简化和优化了半导体集成电路的生产。9600提供灵活性、领先性能和较低的处理成本。它是一个多室系统，使得每个室都能进行不同的处理步骤。这样可以执行各种各样的过程,使机器具有高度的通用性。LAM RESEARCH 9600还提供高通量和均匀性，运行温度非常低，减少了颗粒污染，提高了产品产量。9600有源盖、基板台、可变加工室、排气系统。源盖包括栅格板和快门机构，用于有效的基板装卸。基板台的设计具有稳定性和可重复性，具有多个加工室。可变处理室的设计允许用户从控制器调整处理条件。它有一个电动升降机，并有一个门，用于装载和卸载基板。排气系统设计用于高效抽取和清理废水，包括氟和氯。LAM RESEARCH 9600可自订加工3英吋至8英吋晶圆尺寸的基板，容量最多可达24块基板。它是一个自动化系统，具有机器人手臂机构，双机器人和基板分类。9600有一个计算机控制的界面，允许监控模块的状态、工艺配方编辑调整以及绘制各种工艺图参数。它还包括碳化硅、石英和氧化铝加工能力。总体而言,LAM RESEARCH 9600是一款高质量的蚀刻器/asher,可为需要精确和受控环境的过程提供经济的解决方桉。它具有高度自动化的特点,并且能够定制过程条件,因此是许多应用程序的理想选择。