二手 LAM RESEARCH 9600 #9210314 待售

LAM RESEARCH 9600是一款用于半导体加工的最先进的蚀刻器/asher。它利用湿蚀刻和干蚀刻过程，允许用户选择最适合其应用的。凭借其强大而又节能的脉冲动力设备，它能够处理各种各样的底物，包括硅、砷化氙和其他III-V化合物。其自动装卸系统确保了一致的过程结果，提高了吞吐量。9600结合了可靠、大功率的电源、精密控制过程的精密kine控制器，以及独立的温度和压力监控以实现准确输送。这会导致严格的过程公差和可重复的结果。集成界面用户友好，允许用户创建和存储多个流程配方。LAM RESEARCH 9600还提供了额外的好处,例如房间尺寸的灵活性,可选择3.2、5.3或7.7英寸直径。这允许用户为应用程序选择最佳刀具大小,从而节省时间和成本。具有广泛的腔室压力和温度，该单元可以处理许多不同的沉积和蚀刻应用。9600还具有先进的安全功能,例如集成的紧急关闭开关和用于检测泄漏的低流量警报。此外,可选的基础真空模块可帮助快速、无缝地装载和卸载基板,以及处理偏移校正。这些功能结合了LAM RESEARCH 9600强大的体系结构和性能保证了最大的流程吞吐量和可重复的性能。9600是许多半导体加工应用的通用、可靠的蚀刻器/asher。LAM RESEARCH 9600以其强大而节能的脉冲动力机器、广泛的腔室尺寸、温度和压力设置以及先进的安全特性,确保了可靠的工艺结果和优化的吞吐量。