二手 LAM RESEARCH 9600 #9233030 待售

LAM LAM RESEARCH 9600是一款蚀刻器/asher,为先进的加工技术提供了极致的灵活性和性能。此设备非常适合从晶圆制造到磁盘驱动器产品开发的应用。它是一个集成的蚀刻器/asher，使用一个双梁模块化的工艺室，使任何模式的可靠和高效的处理。LAM 9600具有最先进的工艺室,可提供均匀的蚀刻深度和精确的材料处理,使用户能够蚀刻或粉刷任何基材。这种高度先进的腔室允许最大限度的过程控制和整体系统的灵活性。LAM LAM RESEARCH 9600工艺模块集成了感应耦合等离子体（ICP）、反应性离子蚀刻（RIE）、电化学蚀刻（ECE）等先进工艺。这些工艺能够在低污染和提高工艺稳定性的情况下实现高质量晶圆蚀刻。集成的介电反应室提供等离子体功率控制和均匀的蚀刻深度，适用于多种蚀刻和灰化任务。9600配备了步进重复单元，用于快速射频输出控制。其软件包括多个源代码控制参数、自动化实时动态气体控制、高精度虚拟温度控制以及精密的过程控制制图机。通过组合这些功能,该工具可提供准确和可重复的蚀刻性能。此外,该资产还提供光学和声学诊断功能。集成光学模型提供了对蚀刻和灰化过程的连续监控，而声学设备提供了对蚀刻图样的无损检测，以检测任何故障或弱点。LAM LAM RESEARCH 9600可配置用于各种应用，包括金属氧化物蚀刻、高纵横比蚀刻和金属线条图桉。该系统可以处理多种底物，包括结晶硅、薄膜材料和量子点。该设备还提供了一些可选的软件包,例如离子源和可选的自动样品处理机。LAM 9600具有灵活的工艺室、全面的控制工具和先进的诊断功能,是一种针对高级蚀刻/灰化应用的完整且经济高效的解决方桉。它提供最大程度的工艺控制、均匀的蚀刻深度和可靠的材料处理,以确保高性能和经济高效的处理。