二手 LAM RESEARCH 9600 #9242599 待售

LAM RESEARCH 9600是蚀刻和灰化半导体晶圆的先进平台。该设备由负载锁、工艺室和排气系统组成，提供无与伦比的工具和精度。负载锁是一个真空密封的腔室，允许半导体晶片以无污染物的方式安全装载。使用自动机机构将晶片从负载锁移动到加工室。机器人机构采用先进的机械原理来保证晶圆的正确处理、安全性和准确性。可以根据正在处理的晶圆类型为各种传输配置负载锁定。工艺室是一个高度特定于应用程序的环境。这是根据应用程序的特定要求进行蚀刻或灰分处理的地方。该腔室的设计和构造具有精确度、准确性和可重复性，能够为每个蚀刻或灰化晶片提供可靠和可重复的结果。排气装置用于排空废料，产生均匀的工艺条件。排气机采用化学蚀刻、吸附、过滤和气体相结合的方式，从工具中去除颗粒物和其他类型的污染物。旋风分离器通常用于收集和清除颗粒物。9600是一项突出的蚀刻和ashing资产。它是为了提供一致和准确的过程而构建的。其复杂的组分组合，负载锁，工艺室和排气模型，可提高精度，节省成本和强大的性能。这使得LAM RESEARCH 9600成为半导体蚀刻和灰化晶片的优秀可靠选择。