二手 LAM RESEARCH 9600 #9243611 待售

LAM RESEARCH 9600是一种高精度的蚀刻/asher设备，设计用于在集成电路的制造过程中对半导体晶片和基板进行蚀刻、钝化和清洗。该系统具有广泛的功能,能够实现精密的材料处理操作,并具有出色的基本精确度,包括支持针对晶圆级数据分析和可追踪性进行优化的多级流程和软件系统。9600可以处理高达6英寸（最大1.5 μ m厚）的基板,具有显着的结构内分辨率和可重复性。一个集成的微处理器调节气体控制和分配单元提供精确控制机器参数和精确的化学输送。在精确的化学传递、精确的掩蔽操作和最新的晶圆级数据分析方面,此工具提供了无与伦比的功能。LAM RESEARCH 9600专为技术最先进的半导体材料加工应用而设计。它支持自动化化学输送、精确可重复的温度控制、精确可控制的化学温度、精确可控制的气体压力以及精确可控制的功率输出。这一蚀刻器/asher资产配备了多项独特功能，包括超高精度双头气体输送模型、高度精确的自动对准设备，以及专为9600开发的多种专利和先进蚀刻、钝化、清洁配方。为了提供准确、可重复的结果，LAM RESEARCH 9600融合了精密集成的微处理器控制操作系统，自动适应各种配方和工艺条件。内部气流控制单元与高精度计量机相结合，对蚀刻、钝化和清洗操作进行精确控制。9600还提供用于数据记录和高级质量数据分析的高级软件系统。该工具针对基板光刻的自动对准、跟踪和高级质量控制进行了优化。除了现成的功能外，LAM RESEARCH 9600还提供定制安装选项和高级维护包，包括实时过程控制和数据分析功能。9600是用于高级材料加工操作的可靠、通用且经济实惠的解决方桉。它结合了高精度气体输送和先进的软件系统，提供了一种高度可靠的资产，能够在广泛的工艺条件下提供可靠和可重复的结果。